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微細(xì)加工技術(shù)雜志統(tǒng)計(jì)源期刊

Microfabrication Technology

主管單位：信息產(chǎn)業(yè)部主辦單位：中國電子科技集團(tuán)公司第48研究所

審稿周期
3-6個(gè)月
總被引次數(shù)
758
H指數(shù)
14
期刊他引率
1

基本信息：: ISSN：1003-8213; CN：43-1140/TN; 主編：伍三忠; 郵編：410111

出版信息：: 出版地區(qū)：湖南; 出版周期：雙月刊; 出版語言：中文; 創(chuàng)刊時(shí)間：1983; 類別：電子

收錄信息：: 知網(wǎng)收錄(中); 維普收錄(中); 萬方收錄(中); EI 工程索引(美); 國家圖書館館藏; 上海圖書館館藏

榮譽(yù)信息：: Caj-cd規(guī)范獲獎(jiǎng)期刊; 北大圖書館收錄期刊

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微細(xì)加工技術(shù)期刊介紹

《微細(xì)加工技術(shù)》是由中國電子科技集團(tuán)公司第48研究所主辦，信息產(chǎn)業(yè)部主管的全國性電子類期刊，創(chuàng)刊于1983年，刊號(hào)（CN 43-1140/TN，ISSN 1003-8213），雙月刊。該雜志以刊登電子科學(xué)論文、評(píng)價(jià)電子科研成果、探討電子教學(xué)規(guī)律、傳播電子教學(xué)經(jīng)驗(yàn)、開展電子學(xué)術(shù)討論、報(bào)道電子研究動(dòng)態(tài)、提供國內(nèi)外電子信息為主旨，引領(lǐng)電子前沿和熱難點(diǎn)問題研究，助電子經(jīng)學(xué)者成長。該刊級(jí)別為統(tǒng)計(jì)源期刊，歡迎廣大讀者訂閱。

《微細(xì)加工技術(shù)》期刊欄目主要有：綜述電子束技術(shù) 離子束技術(shù) 光子束技術(shù) 薄膜技術(shù) 微機(jī)械加工技術(shù) 納米技術(shù)

微細(xì)加工技術(shù)歷史收錄情況

Scopus數(shù)據(jù)庫（2021）

微細(xì)加工技術(shù)投稿須知

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微細(xì)加工技術(shù)文獻(xiàn)分析

1、主要引證文獻(xiàn)期刊分析

序號(hào)	期刊	涉及文獻(xiàn)量
1	《微納電子技術(shù)》	61
2	《光學(xué)精密工程》	50
3	《材料導(dǎo)報(bào)》	36
4	《電子工業(yè)專用設(shè)備》	36
5	《納米技術(shù)與精密工程》	32
6	《半導(dǎo)體技術(shù)》	27
7	《功能材料與器件學(xué)報(bào)》	25
8	《傳感技術(shù)學(xué)報(bào)》	24
9	《壓電與聲光》	24
10	《中國機(jī)械工程》	23

2、主要參考文獻(xiàn)期刊分析

序號(hào)	期刊	涉及文獻(xiàn)量
1	《半導(dǎo)體學(xué)報(bào)：英文版》	35
2	《中國機(jī)械工程》	27
3	《光學(xué)精密工程》	26
4	《物理學(xué)報(bào)》	26
5	《光電工程》	25
6	《微納電子技術(shù)》	18
7	《機(jī)械工程學(xué)報(bào)》	16
8	《光學(xué)學(xué)報(bào)》	16
9	《電子工業(yè)專用設(shè)備》	16
10	《傳感器技術(shù)》	14

微細(xì)加工技術(shù)主要發(fā)文機(jī)構(gòu)分析

序號(hào)	機(jī)構(gòu)名稱	發(fā)文量	相關(guān)發(fā)文主題
1	中國科學(xué)院	192	光刻；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)；掩模
2	上海交通大學(xué)	129	微機(jī)電系統(tǒng)；電系統(tǒng)；機(jī)電系統(tǒng)；MEMS；刻蝕
3	清華大學(xué)	60	微細(xì)；光刻；微細(xì)加工；離子束；聚焦離子束
4	中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)	47	刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；衍射
5	電子工業(yè)部	46	離子注入；注入機(jī)；離子注入機(jī)；半導(dǎo)體；電路
6	中國科學(xué)院微電子研究所	38	光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝光；分辨率
7	中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所	34	光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感
8	山東大學(xué)	29	電子束；電子束曝光；曝光機(jī)；電子束光刻；電子束曝光機(jī)
9	山東工業(yè)大學(xué)	28	電子束曝光；曝光機(jī)；電子束曝光機(jī)；電子束；電路
10	華中理工大學(xué)	26	刻蝕；濺射；半導(dǎo)體；等離子體；離子束

微細(xì)加工技術(shù)期刊文獻(xiàn)

基于MEMS的無閥泵研究進(jìn)展 作者：白蘭; 馮志慶; 吳一輝；大連民族學(xué)院; 大連; 116600; 大連民族學(xué)院; 大連; 116600; 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所; 長春130033
電感耦合等離子體源的研究進(jìn)展 作者：楊定宇; 蔣孟衡；成都信息工程學(xué)院光電技術(shù)系; 成都; 610225; 成都信息工程學(xué)院光電技術(shù)系; 成都; 610225
光刻結(jié)合熱解制備高深寬比碳微結(jié)構(gòu)的新方法 作者：湯自榮; 姚園媛; 史鐵林; 廖廣蘭；華中科技大學(xué); 機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗(yàn)室; 武漢; 430074; 華中科技大學(xué); 機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗(yàn)室; 武漢; 430074; 華中科技大學(xué); 機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗(yàn)室; 武漢; 430074; 華中科技大學(xué); 機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗(yàn)室; 武漢; 430074
基于光刻版的無留膜紫外納米壓印技術(shù)研究 作者：張亞軍; 丁玉成; 盧秉恒；西安交通大學(xué); 機(jī)械制造系統(tǒng)工程國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 西安; 710049; 西安交通大學(xué); 機(jī)械制造系統(tǒng)工程國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 西安; 710049; 西安交通大學(xué); 機(jī)械制造系統(tǒng)工程國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 西安; 710049
接近式光刻的角譜法仿真研究 作者：李曉光; 沈連; 鄭津津; 李木軍; 陳有梅；中國科學(xué)技術(shù)大學(xué); 機(jī)密機(jī)械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué); 機(jī)密機(jī)械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué); 機(jī)密機(jī)械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué); 機(jī)密機(jī)械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué); 機(jī)密機(jī)械與精密儀器系; 合肥; 230027
評(píng)價(jià)任意面型微光學(xué)元件制作誤差的方法 作者：高洪濤; 杜春雷; 張雨東；中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 成都610209; 中國科學(xué)院研究生院; 北京; 100039; 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 成都610209; 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所; 成都; 610209
自動(dòng)微分法求解粒子光學(xué)像差的精度分析 作者：李文萍; 顧文琪；中國科學(xué)院電工研究所; 北京; 100080; 中國科學(xué)院研究生院; 北京; 100039; 中國科學(xué)院電工研究所; 北京; 100080
超磁致伸縮薄膜性能測試系統(tǒng)研究 作者：何濱; 章良; 宋祖殷；湖南建筑高級(jí)技工學(xué)校機(jī)電系; 長沙; 410015; 空軍駐湖南軍代室; 長沙; 410016; 空軍駐湖南軍代室; 長沙; 410016